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中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
作者: 发布于:2014-8-19 14:23:53 点击量:

 

中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准 

 

 指标\级别 

 EW 

 EW 

EW  

EW-Ⅳ 

 电阻率 MΩcm(25) 

18以上,(95%时间)不低于17 

15,(95%时间)不低于13 

 12.0    

0.5    

 全硅,最大值,μg/L

 

2

 

10

 

50

 

1000

 

 1μm微粒数,最大值,个/mL

 

0.1 

5 

10 

500 

 细菌个数,最大值,个/mL

 

0.01

0.1

10

100 

 铜,最大值,μg/L

 

0.2 

1 

2 

500 

 锌,最大值,μg/L

 

0.2

1 

5 

500 

 镍,最大值,μg/L

 

0.1 

1 

2 

500 

 钠,最大值,μg/L

 

0.5 

2 

5 

1000 

 钾,最大值,μg/L

 

0.5 

2 

5 

500 

 氯,最大值,μg/L

 

1 

1

 

10

 

1000

 

 硝酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 磷酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 硫酸根,最大值,μg/L

 

1

 

1

 

5

 

500

 

 总有机酸,最大值,μg/L

 

20

 

100

 

200

 

1000

 




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